當今，半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需要大量的純水、超純水清洗成品、半成品。集成電路的集成度越高，線寬越窄，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)等級，分別為18.2MΩ·cm、15MΩ·cm、10MΩ·cm、2MΩ·cm、0.5MΩ·cm，以區(qū)分不同水質(zhì)。其中，對于超純水要求最關(guān)鍵的指標：電導(dǎo)率（電阻率），總硅，PH值，顆粒度等。因此，線路板、電路板使用純水、超純水因為本身工藝流程的不同對超純水制造的工藝也不同，所以，杭州歐泉科技有公公司會根據(jù)客戶的要求，設(shè)計適合客戶用水的設(shè)備方案。

電子半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)工藝流程圖

特征

電子半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)設(shè)備通常有多介質(zhì)過濾器，活性炭過濾器，精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)，RO反滲透主機系統(tǒng)，離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。水箱設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵設(shè)有高低壓壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用模塊化組合PLC，及通信遠程輸送至中控室上位機，實現(xiàn)現(xiàn)場就地和集中控制兩種操作方式，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使該設(shè)備與其他同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。

應(yīng)用領(lǐng)域

電子化學(xué)品，集成電路，光刻機，以及泛半導(dǎo)體行業(yè)用水等。