等離子清洗機是等離子表面改性的其中較為常見的一種方式。它采用不銹鋼材質(zhì)的腔體，內(nèi)置電極板不產(chǎn)生污染其他結(jié)構(gòu)，如艙體、閥體，管路采用耐用防腐蝕材料。適用于實驗室科研、小批量生產(chǎn)，是小部件納米清洗、表面活化、表面改性等，如下：
1.表面清潔；
2.表面活化；
3.鍵合；
4.去膠；
5.金屬還原；
6.表面刻蝕；
7.去除表面有機物；
8.疏水實驗；
9.鍍膜前處理等。
等離子清洗機的優(yōu)點在哪里？
1、采用電容式等離子激發(fā)，產(chǎn)生的等離子體分布均勻，能確保材料處理過程效果好及可重復(fù)性；
2、采用彩色觸摸屏+PLC全自動控制,根據(jù)處理不同的材料設(shè)置在線清洗功能，修改監(jiān)控真空壓力，處理時間，等離子功率等工藝參數(shù)。傻瓜式設(shè)備，操作簡單快捷，可一鍵啟動，連續(xù)重復(fù)運行，J確控制試驗時間、真空度、功率等重要參數(shù),程序內(nèi)設(shè)多項安全保護，防止誤操作，對人和儀器做到最大保護；
3、設(shè)備具有手動、自動兩種模式任意切換，手動模式用于實驗工藝的模擬及設(shè)備維護校準(zhǔn)。
4、可預(yù)置多個實驗參數(shù)，簡化操作，提高效率。編好程序自動完成整個實驗過程；
5、使用成本低，無需進行特殊維護，在日常使用中保持儀器清潔即可。
從機理上看等離子清洗機在清洗時，利用工作氣體在電磁場的作用下所激發(fā)的等離子與物體表面產(chǎn)生物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)。其中物理反應(yīng)機制是活性粒子轟擊材料表面，使污染物脫離表面而被真空泵吸走；化學(xué)反應(yīng)機制是各種活性的粒子和污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走從而達到清洗目的。
